金融界2024年11月8日消息,国家知识产权局信息显示镀锌铝镁板是什么✅板材,福建华佳彩有限公司取㊣得一项名为“一种改善曝光机光刻精度的掩膜版”的专利,授权公告号 ㊣CN 221960404 U,申请日期为2024年1月。
专利摘要显示,本实用新型提供了一种改善曝光机光刻精度的掩膜版,所述光刻掩膜版由基板、镀层、薄膜和✅㊣框✅架构成, 所述框架围设于所述基板的下方,所述镀层和薄膜位于所述框架内部,且依次设置于所述基板的下方,所述镀层由若干遮光区和透光区依次交替排列构成镀锌贵还是不锈钢贵,所述遮光区的宽度为L,所述透光区的宽度为D,光刻后形成的金属✅线宽为l,金属线距为d,其中L‑l=‑0.6um,D‑d=✅✅0.6um。本实用新型采用Mask(掩膜版设计尺寸)‑ADI(光刻工艺后线um的弱曝设计方式镀锌铝镁板是什么板材,能保证有足㊣够大的space来提升光刻精度,简单方便,成本低。
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